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真空检测可以使用多种仪器进行，其中常见的包括真空计、真空漏孔检测仪器等，这些仪器的具体工作原理如下：
真空计是一种用于测量真空度的仪器，其工作原理主要分为三种：
1、热传导真空计：这种真空计利用气体分子热传导与真空度相关的原理工作，当气体分子撞击热丝时，会传递热量给热丝，通过测量热丝的热量变化可以推算出气体的压强，从而得知真空度，其测量范围较广，适用于不同真空环境。
2、磁控真空计：这种真空计基于磁控放电原理制成，通过测量气体放电过程中的电参数变化来推算真空度，它具有响应速度快、精度高等优点。
3、光电离真空计：这种真空计利用不同气体在电离时产生不同离子电流的原理工作，通过测量离子电流可以得知气体的成分和压强，从而得知真空度，它适用于多种气体环境的检测。
至于真空漏孔检测仪器，其工作原理主要是通过检测真空系统或组件中的气体泄漏情况来判断真空性能，常见的检测方法包括压力衰减法、流量法等，这些仪器通常具有较高的灵敏度和精度，能够检测出微小的泄漏情况。
真空检测使用的仪器多种多样，其工作原理主要基于气体分子热传导、磁控放电、光电离等原理来检测真空度或气体泄漏情况，具体的选择和使用方法需要根据实际情况和需要进行确定。